物質通常有三種相反狀態，即氣態、液態和固態。它們根據定然的條件而彼此轉化。液態轉化成氣態的內中稱為揮發，固態轉化成氣態的內中稱為升華。
在定然的熱度下，在開啟的真空空間中，因為液體(或液體)氣化的后果，使空間的蒸氣密度逐步增多，當達成定然的蒸氣壓力之后，單位工夫內脫離液體(或液體)名義的分子數與從空間回來液體(或液體)名義的再凝聚分子數相當，即揮發(或升華)速率與凝聚速率達成靜態失調，那時可覺得氣化停留，此時的蒸氣壓力稱為該熱度下該液體(或液體)的飽和蒸氣壓。
飽和蒸氣壓與熱度之間有如次相近關系
式中P——飽和蒸氣壓
A、B——常數
T——相對熱度
正常說來，在定然熱度下飽和蒸氣壓高的資料，其揮發（或升華）速率也大。蒸氣壓和揮發（升華）速率之間有以次關系
式中W——揮發（升華）速率，g/cm2·s
P——熱度T時的飽和蒸氣壓，Pa
M——分子量，g/克分子
無須留神的是，無須把資料的蒸氣壓力與放氣壓力區離開，資料的放氣壓力與資料對氣體的解吸、放氣或浸透無關。固然有時放氣或熱解吸造成的氣體壓力比資料固有的蒸氣壓力要高的多，然而經過在真空下烘烤可以升高它們對氣體壓力的莫須有，然而資料的蒸氣壓力卻是資料自身所固有的、一成不變的。
在真空技能中，資料的蒸氣壓力和揮發(升華)速率都是須要注重的參數。如：真空油脂、真空規管的熱真絲的飽和蒸氣壓均能變成莫須有極限真空度的氣源；真空鍍膜用糧和吸氣劑的升華速率是設計真空鍍膜設施及吸氣劑泵時須要思忖的參量；高溫風化氣體的飽和蒸氣壓力則是與高溫冷凝泵極限壓力無關的參量。
顯然，使不得采納在真空零碎的作業熱度規模內蒸氣壓力很高的資料。在作業熱度的規模內，所有面對真空的資料的飽和蒸氣壓力無須剩余低，不應所以其自身的蒸氣壓或放氣特點而使真空零碎達不到所務求的作業真空度(或使真空度適度升高)。只管室溫下某些資料的蒸氣壓很低，乃至有時發覺不進去，但隨著熱度的升高，蒸氣壓力最終能夠回升到測得進去的值。比如，某些難熔非金屬須要升高到1500℃之上能力測出其蒸氣壓力值。然而某些非金屬(例鋅、鎘、鉛等)在300～500℃時的蒸氣壓力值就很高，勝于了高真空零碎所務求的壓力。比如鎘在300℃時的蒸氣壓力值為10Pa，因而該署非金屬(或其合金)使不得在帶烘烤的高真空零碎或超高真空零碎中運用。其它一些資料，如某些塑料或橡膠，因為其使不得加溫烘烤及蒸氣壓過高，則基本使不得在超高真空條件下運用。
真空工事中罕用資料及蕩滌用有機溶劑的蒸氣壓請查閱無關畫冊。
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